반도체에서 핀홀 결함은 왜 생길까 :: why the pinhole defects are created in semiconductor 안녕하세요 오늘은 pinhole defects에 대해 알아보려고 합니다. 제가 찾아본 논문은 The influence of surface defects on the pinhole formation in silicide thin film 와 researchgate사이트(지식인같은곳) 입니다. 먼저 핀홀 defects가 어떻게 생겼는지 한 번 보여드릴게요. 핀홀을 보시면 기판(substrate)으로부터 쭉 올라와 suface까지 뚫려있는 구멍모양인데요. 이 구멍은 마치 골프장에서 공넣는 핀홀같이 생겨서 pinhole이라는 이름이 붙은 것 같습니다. deposition과정은 언제나 smoothe(평탄)하고 roughness 없게 film을 까는 것이 중요합니다. 그러나 이 pinhole은 구멍을 만들고 평탄하.. 공대 대학원 생활 & 반도체 지식 6년 전
