[반도체 공대 대학원 생활] FEB에서 사용하는 ALD 장비(기기) 및 각각의 역할 오늘은 반도체에서 증착하는 방법중 하나인 ALD를 깊게 파보려고합니다. ALD의 개념은 다른 게시물에서 설명을 하고 이 포스팅에서는 ALD의 장비를 직접 보여드리려고요!먼저 ALD 기기가 워낙 커서 일부분 먼저 보여드릴게요. 저희가 쓰는 ALD 기기는 '다양한 기기들 중에서도 Plasma를 이용하는' Plasma Enhanced ALD입니다. 일명 PEALD라고 부르죠. 다른 ALD 기기들과의 차이점은 플라즈마를 사용하기때문에 작동 온도가 상대적으로 낮고 plasma상태로 만들어주는 전기기계가 추가되었다는 점이에요.전체적인 구조 사진에서 왼쪽에 보시면 엄청 큰 통이 있는데 Main chamber입니다. 메인 챔버는 실제 공정이 일어나는 곳으로, 항상 무조건! 진공으로 유지되고 있습니다. 메인 챔버로 pr.. 공대 대학원 생활 & 반도체 지식 6년 전
