RIE(Reactive Ion Etching)에 대해 알아보기(feat. 플라즈마의 원리)
안녕하세요 Jista입니다. 오늘은 Reactive Ion Etching에 대해 알아보겠습니다. 플라즈마의 개념을 알아야해서 살짝 어렵더라구요. 그래서 RIE에 대해 알기전 플라즈마에 관해 간략히 설명을 드릴게요. 플라즈마는 제 4의 물질로 알려져있습니다. 아마 고등학교때까지는 모든 물체가 고체,액체,기체로만 이루어져있다고 배웠을겁니다. 하지만 기체에 아주 강한 에너지를 가해주면 플라즈마 상태라는 것이 생깁니다. 위 그림을 보시면 고체에 에너지(혹은 열)을 가하면 분자사이의 몇몇 결합이 끊어져 액체가 됩니다. 마찬가지로 액체에 에너지를 가하면 분자사이의 결합이 끊어져 기체가 됩니다. 이때까지만 해도 +와 -는 원자에 속해있기 때문에 원자 하나하나 개별로 봐도, 전체적(원자들의 집단)으로 봐도 중성입니다...
