[반도체 면접 준비] doping할 때 diffusion(확산)으로 인한 문제점 해결 방안중 하나 MOSFET에서 sidewall(spacer)의 역할은?
안녕하세요 Jista입니다. 오늘은 MOSFET에서 sidewall의 역할에 대해 알아보려고 합니다. sidewall은 spacer라고 부르기도 합니다. 분홍색으로 표시되어있는 spacer는 기존 MOSFET 구조에서는 없었는데 왜 넣었을까요? 바로 dopant를 Si substrate에 주입하는 과정에서 발생하는 diffusion때문인데요. diffusion은 고농도에서 저농도로 물질이 이동하는 현상을 일컫습니다. 그래서 원하는 부위에만 doping을 하려고 dopant를 주입하는데 Gate dielectric 아래로도 확산을 하는 문제가 있었어요. gate 아래를 channel이라 부르는데 source와 drain의 영역 증가로 인한 short channel effect가 발생하면 MOSFET을 원하..