sample을 TEM으로 보기 위해 필요한 공정 :: Focused ion beam(FIB), Ion milling
안녕하세요 Jista입니다. 오늘은 sample을 TEM으로 보기 위해서 할 수 있는 공정 두가지를 설명해드리려고 합니다.1) Focused ion beam(FIB) 가 있고,2) Ion milling(일종의 atomic layer etching)이 있습니다. 먼저 TEM을 간단히 설명드리겠습니다. TEM(transmission electron microscope)은 주로 sample의 단면을 보기 위한 현미경입니다. 위에서 아래로 전자빔을 쏴서 전자를 샘플로 투과시킵니다. 샘플속의 구조, 물질의 종류에 따라 전자가 투과하는 양이 다릅니다. 맨 아래에 있는 카메라(or detector)가 들어오는 전자의 양을 측정해서 어두운부분과 밝은부분으로 샘플의 단면을 저희에게 보여줍니다. 어두운 부분은 전자가 많이..
