반도체를 투과전자현미경으로 보기 위한 과정 1편 - TEM sampling, Polishing 오늘은 반도체 물질을 분석하기 위한 TEM 샘플링하는 과정에 대해 포스팅해보겠습니다. Si substrate(기판) 위에 Film(박막)을 Epitaxy로 성장시키거나 ALD로 증착했을 때 제대로 성장했는지 확인하기 위해서는 투과전자현미경으로 보는 것이 좋습니다. 투과전자현미경은 Tranmission Electron Microscope의 약자입니다. 이름 그대로 전자가 샘플을 투과해서 정보를 얻는 현미경인데요. 전자가 뚫고 투과하려면 샘플이 얇아야합니다. 두꺼우면 전자가 뚫다가 힘들어서 포기해요. 그래서 TEM sampling은 두께를 최대한 얇게하는데 초점을 맞추고 있습니다. 최소한 두께는 100nm보다 얇아야 합니다. 또한 TEM은 상당히 복잡한 기계라 한번 보는데 오래걸려요. 시간을 절약하기 위해서.. 공대 대학원 생활 & 반도체 지식 6년 전
sample을 TEM으로 보기 위해 필요한 공정 :: Focused ion beam(FIB), Ion milling 안녕하세요 Jista입니다. 오늘은 sample을 TEM으로 보기 위해서 할 수 있는 공정 두가지를 설명해드리려고 합니다.1) Focused ion beam(FIB) 가 있고,2) Ion milling(일종의 atomic layer etching)이 있습니다. 먼저 TEM을 간단히 설명드리겠습니다. TEM(transmission electron microscope)은 주로 sample의 단면을 보기 위한 현미경입니다. 위에서 아래로 전자빔을 쏴서 전자를 샘플로 투과시킵니다. 샘플속의 구조, 물질의 종류에 따라 전자가 투과하는 양이 다릅니다. 맨 아래에 있는 카메라(or detector)가 들어오는 전자의 양을 측정해서 어두운부분과 밝은부분으로 샘플의 단면을 저희에게 보여줍니다. 어두운 부분은 전자가 많이.. 공대 대학원 생활 & 반도체 지식 6년 전
