투과전자현미경으로 반도체 보기 TEM sampling 2편 - Polishing 및 Cutting
안녕하세용~Jista입니다. 지난 편에 이어서 Stack 쌓기와 Polishing에 관한 내용을 포스팅할게요. 2019/07/27 - [공대 대학원 생활 & 반도체 지식] - 반도체를 투과전자현미경으로 보기 위한 과정 1편 - TEM sampling, Polishing 안보고 오신 분들은 위의 글을 보고 와주세요. TEM을 보기 위해선 샘플의 두께가 100nm보다 얇아야합니다. 지난시간까지는 여러개의 샘플을 동시에 보기위해서 Stack을 쌓았습니다. 하지만 여러개의 샘플을 쌓고나서 어떤 것이 1번 샘플인지, 2번 샘플인지 모르면 분석이 안되겠지요 ㅎㅎ게다가 정석대로하면 Sample 1도 얇게 갈아줘야하구요... 노동력이 추가됩니다. 기껏 며칠간 공들여 만들었는데 데이터 분석을 못하면 대.참.사 그렇기에 ..